送风量大

洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务,这一任务的完成要依赖很高的送风量,是以高能耗为代价的。就送风量而言,一般办公大楼换气次数为10h-1左右,而大规模半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1,10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1,100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
净化车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘车间报价,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。

每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净厂房建筑方式可分为土建结构和装配式两种,其中普遍采用装配式。装配式洁净厂房系统主要由初,中,高三级空气过滤的空调送风回风和排风系统;动力及照明系统;工作环境参数的监测报警消防和通讯系统;人和物流系统;工艺管路系统;维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成,形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。

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